日本尼康宣布全新ArF浸没式光刻机:精度小于2.1纳米、价格便宜30%
bb百科12月10日消息,尼康宣布,将于2024年1月正式推出ArF 193纳米浸没式光刻机“NSR-S636E”,生产效率、套刻精度都会有进一步提升。
据悉,尼康这款曝光机采用增强型iAS设计,可用于高精度测量、圆翘曲和畸变校正,重叠精度(MMO)更高,号称不超过2.1纳米。
分辨率小于38纳米,镜头孔径1.35,曝光面积为26x33毫米。
对比当前型号,它的整体生产效率可提高10-15%,创下尼康光刻设备的新高,每小时可生产280片晶圆,停机时间也更短。
尼康还表示,在不牺牲生产效率的前提下,新光刻机可在需要高重叠精度的半导体制造中提供更高的性能,尤其是先进逻辑和內存、CMOS图像传感器、3D闪存等3D半导体制造,堪称最佳解决方案。
另据了解,新光刻机的光源技术是20世纪90年代就已经成熟的“i-line”,再加上相关零件、技术的成熟化,价格将比竞品便宜20-30%左右。
不过,目前尚不清楚尼康这款光刻机能制造多少纳米的芯片。
日本尼康、佳能与荷兰阿斯麦(ASML)曾经是光刻机三巨头,但因为点错了科技树,没有跟上阿斯麦的193纳米浸没式光刻技术,逐渐没落,尤其是在EUV极紫外光刻技术上毫无建树。
为了生存,尼康、佳能基本放弃了对尖端光刻技术的角逐,更专注于难度更低、价格更低的成熟工艺光刻设备。
但他们也并非一无是处,比如佳能研发了纳米压印技术(NIL),无需EUV就能制造5纳米芯片。
相关文章
- 首发5199元 联想推出ThinkBook 14+ 2024 SE笔记本:2.5K高色域屏
- 华硕无畏Pro15 2024轻薄本开售:酷睿Ultra 9+2.8K OLED屏售8499元
- 年轻人第一部!小米最便宜Wi-Fi 7路由BE3600 2.5G版上架
- 铭瑄RTX 4070 SUPER iCraft OC12G瑷珈显卡评测:245W性能强劲释放 散热稳压63℃
- 1499元!Redmi显示器G34WQ开售:34英寸180Hz高刷带鱼屏
- 芯战力 华硕B760重炮手二代主板开售
- LPL 2024春季赛正式开打 首战即巅峰!Intel 14代酷睿强力助攻、升级AI
- 7999元 外星人新款27寸QD-OLED电竞显示器上架:2K 360Hz屏
- 华硕TUF B760M-PLUS WIFI II重炮手主板上架:支持D5-7800+内存
- 英特尔i9-14900HX性能起底:依旧是移动端王者
发表评论
评论列表
- 这篇文章还没有收到评论,赶紧来抢沙发吧~